Разроботка низкотемпературных процессов создания полупроводниковых приборов и ИМС: Физика твердого тела и квантовых жидкостей; Диссертация
Record details
- Physical Description: 241 стр.
- Publisher: [ქ.გ.]: [გ.გ.], 2001.
Content descriptions
Dissertation Note: | Диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. |
Bibliography, etc. Note: | бибиография: стр.228-241. |
Formatted Contents Note: | Содержание--Ввеение--Глава 1.Дифузионные процессы в твердых телах--Основные результаты и выводы--Глава 2.Процессы роста плазменных анодных оксидов--Основные результаты и выводы--Глава 3.Стимулированные процессы плазменного анодирования металлов и полупроводников--Основные результаты и выводы--Глава 4.Электрофизиские свойства плазменных оксидов--Основные результаты и выводы--Глава 5.Создание ИМс на основе плазменых оксидов--Основные результаты и выводы--Обобщенные выоды и основные результаты--Список опубликованых по теме диссертации-- Литература. |
Search for related items by subject
Subject: | Электропроводность Сопротивление и проводимость в вакууме |
Available copies
- 1 of 1 copy available at United Catalog.
Holds
- 0 current holds with 1 total copy.
Show Only Available Copies
Location | Call Number / Copy Notes | Barcode | Shelving Location | Status | Due Date |
---|---|---|---|---|---|
Grigol Tsereteli Reading Hall | F-85219 | 900001901035 | Stacks | Available | - |